2022上海計量院 “集成電路材料關鍵質量參數的檢測體係研究與應用”項目榮獲綜合類質量創新成果優秀獎

      多欽儀表（上海）有限公司專注於流量計與服務  新聞速遞

       2022年9月27日，2022年度上海市質量協會質量技術獎獲獎名單公布。上海計量院 “集成電路材料關鍵質量參數的檢測體係研究與應用”項目榮獲綜合類質量創新成果優秀獎。

　　上海市質量協會質量技術獎圍繞重點產業、重點領域質量提升工程以及質量技術基礎建設等方向

，獎勵本市企事業單位在質量技術創新領域做出突出貢獻的項目成果和個人。

　　“集成電路材料關鍵質量參數的檢測體係研究與應用”項目通過研究國際先進材料的質量體係、剖析先進工藝流程參數、tiaoyanguoneijichengdianluchanyeshiyongcailiaodezhiliangyaoqiu，jinerquedinglewoguojichengdianlucailiaodeguanjianjishuzhibiao。jiehegaochunshijidezhiliangkongzhifangan，tongguokaifacaiyangheqianchulifangfa，youhuashiyanhuanjingzhiliangkongzhidefangan，xihuajiancebuzhou

，youhuashebeicanshudeng，xingchengleyihenliangyinyanglizi

、顆粒為關鍵參數的集成電路材料質量體係。開發了包含濕電子化學品
、光刻膠、拋光液中關鍵技術指標
，如：痕量陽離子、陰離子、顆粒的檢測方法，突破了痕量檢測技術的瓶頸，滿足10nm-14nm工藝製程的質量要求。

　　集成電路材料是集成電路產業發展的基礎，也是集成電路產業有序發展的保障。該項目突破了產業內多個“卡脖子”的關鍵難題，解決了材料上下遊關鍵參數不明確
、質(zhi)量(liang)要(yao)求(qiu)不(bu)一(yi)致(zhi)的(de)問(wen)題(ti)，打(da)通(tong)了(le)產(chan)業(ye)上(shang)下(xia)遊(you)的(de)質(zhi)量(liang)體(ti)係(xi)
，打(da)破(po)了(le)國(guo)外(wai)對(dui)材(cai)料(liao)驗(yan)收(shou)的(de)技(ji)術(shu)壁(bi)壘(lei)，能(neng)夠(gou)較(jiao)好(hao)地(di)服(fu)務(wu)於(yu)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)材(cai)料(liao)國(guo)產(chan)化(hua)驗(yan)證(zheng)項(xiang)目(mu)和(he)重(zhong)要(yao)國(guo)產(chan)材(cai)料(liao)替(ti)代(dai)項(xiang)目(mu)，助(zhu)力(li)國(guo)內(nei)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)產(chan)業(ye)的(de)高(gao)質(zhi)量(liang)發(fa)展(zhan)。

文章鏈接：儀表網 https://www.ybzhan.cn/news/detail/103058.html

《轉載上海計量院》

 多欽儀表技術服務團隊專注於流量計近20年
，特別推薦： 渦街流量計、電磁流量計、蒸汽流量計、氣體流量計、橢圓齒輪流量計、金屬管浮子流量計
、超聲波流量計等多種流量計的計量服務，特別是流量GPRS手機端
、PC端數據在線監控等多方麵技術服務。