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傳感器正處於傳統型向新型傳感器轉型的發展階段
新型傳感器的特點是微型化、數字化、智能化、多功能化、係統化、網絡化,它不僅促進了傳統產業的改造,而且可導致建立新型工業,是21世紀新的經濟增長點。微型化是建立在微電子機械係統(MEMS)技術基礎上的,目前已成功應用在矽器件上形成矽壓力傳感器(如上述EJX變送器)。微電子機械加工技術,包括體微機械加工技術、表麵微機械加工技術、LIGA技術(X光深層光刻、微電鑄和微複製技術)、激光微加工技術和微型封裝技術等。MEMS的發展,把傳感器的微型化、智能化、多(duo)功(gong)能(neng)化(hua)和(he)可(ke)靠(kao)性(xing)水(shui)平(ping)提(ti)高(gao)到(dao)了(le)新(xin)的(de)高(gao)度(du)。傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)檢(jian)測(ce)儀(yi)表(biao),在(zai)微(wei)電(dian)子(zi)技(ji)術(shu)基(ji)礎(chu)上(shang),內(nei)置(zhi)微(wei)處(chu)理(li)器(qi),或(huo)把(ba)微(wei)傳(chuan)感(gan)器(qi)和(he)微(wei)處(chu)理(li)器(qi)及(ji)相(xiang)關(guan)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)(運算放大器、A/D或D/A、存貯器、網絡通訊接口電路)等封裝在一起完成了數字化、智能化、網絡化、係統化。(注:MEMS技術還完成了微電動機或執行器等產品,將另作文介紹)網絡化方麵,目前主要是指采用多種現場總線和以太網(互聯網),這要按各行業的特點,選擇其中的一種或多種,近年內zui流行的有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等。
除MEMS外,新型傳感器的發展還有賴於新型敏感材料、敏感元件和納米技術,如新一代光纖傳感器、超導傳感器、焦平麵陳列紅外探測器、生物傳感器、納米傳感器、新型量子傳感器、微型陀螺、網絡化傳感器、智能傳感器、模糊傳感器、多功能傳感器等。
多傳感器數據融合技術正在形成熱點,它形成於20世紀80年(nian)代(dai),它(ta)不(bu)同(tong)於(yu)一(yi)般(ban)信(xin)號(hao)處(chu)理(li),也(ye)不(bu)同(tong)於(yu)單(dan)個(ge)或(huo)多(duo)個(ge)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)監(jian)測(ce)和(he)測(ce)量(liang),而(er)是(shi)對(dui)基(ji)於(yu)多(duo)個(ge)傳(chuan)感(gan)器(qi)測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)基(ji)礎(chu)上(shang)的(de)更(geng)高(gao)層(ceng)次(ci)的(de)綜(zong)合(he)決(jue)策(ce)過(guo)程(cheng)。有(you)鑒(jian)於(yu)傳(chuan)感(gan)器(qi)技(ji)術(shu)的(de)微(wei)型(xing)化(hua)、智zhi能neng化hua程cheng度du提ti高gao,在zai信xin息xi獲huo取qu基ji礎chu上shang,多duo種zhong功gong能neng進jin一yi步bu集ji成cheng以yi致zhi於yu融rong合he,這zhe是shi必bi然ran的de趨qu勢shi,多duo傳chuan感gan器qi數shu據ju融rong合he技ji術shu也ye促cu進jin了le傳chuan感gan器qi技ji術shu的de發fa展zhan。多duo傳chuan感gan器qi數shu據ju融rong合he的de定ding義yi概gai括kuo:把ba分fen布bu在zai不bu同tong位wei置zhi的de多duo個ge同tong類lei或huo不bu同tong類lei傳chuan感gan器qi所suo提ti供gong的de局ju部bu數shu據ju資zi源yuan加jia以yi綜zong合he,采cai用yong計ji算suan機ji技ji術shu對dui其qi進jin行xing分fen析xi,消xiao除chu多duo傳chuan感gan器qi信xin息xi之zhi間jian可ke能neng存cun在zai的de冗rong餘yu和he矛mao盾dun,加jia以yi互hu補bu,降jiang低di其qi不bu確que實shi性xing,獲huo得de被bei測ce對dui象xiang的de一yi致zhi性xing解jie釋shi與yu描miao述shu,從cong而er提ti高gao係xi統tong決jue策ce、規劃、反應的快速性和正確性,使係統獲得更充分的信息。其信息融合在不同信息層次上出現,包括數據層(像素層)融合、特征層融合、決策層(證據層)融合。由於它比單一傳感器信息有如下優點,即容錯性、互補性、實時性、經濟性,所以逐步得到推廣應用。應用領域除軍事外,已適用於自動化技術、機器人、海洋監視、地震觀測、建築、空中交通管製、醫學診斷、遙感技術等方麵。
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